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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:等離子加強化學沉積PECVD鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:TN-PECVD-450
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
等離子加強化學沉積PECVD鍍膜儀能夠利用高能量等離子體促進反應過程,有效提升反應速度,降低反應溫度,等離子加強化學沉積PECVD鍍膜儀適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件
詳情介紹:
TN-PECVD-450化學氣相沉積采用等離子體增強型化學氣相沉積技術(shù),能夠利用高能量等離子體促進反應過程,有效提升反應速度,降低反應溫度。適用于在光學玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

名稱
PECVD鍍膜儀
型號
TN-PECVD-450
特點
  • 能夠利用高能量等離子體促進反應過程,有效提升反應速度,降低反應溫度
  • 適用于在光學玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積
  • 成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件
技術(shù)參數(shù)
  • 真空腔體    前開門式,φ300mm X 300mm 不銹鋼材質(zhì)
  • 觀察窗:φ100mm 帶擋板
  • 真空泵組    前級泵:旋片泵 抽速1.1L/s,次級泵:渦輪分子泵 抽速600L/s
  • 極限真空度    10-6Pa,三十分鐘內(nèi)可達到 10-4Pa
  • 沉積真空    0.133~133Pa,可根據(jù)工藝調(diào)整
  • 射頻電源    13.56MHz,500W,自動匹配
  • 流量控制    質(zhì)量流量計,默認 Ar氣 0~200sccm
規(guī)格
整機尺寸    1100mm x 800mm x1100mm

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