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精密旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)的主要特點(diǎn)介紹
日期：2025-05-09 09:32
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摘要：
精密旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個(gè)不同大小的真空吸盤，可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。
主要特點(diǎn)
1、真空吸附方式固定樣件，操作簡便。
2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。
3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。
5、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī)，無級調(diào)速，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修與保養(yǎng)簡單，噪音低，震動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
6、采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。
7、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
8、可在惰性氣體氣氛（如Ar、N2）下進(jìn)行涂層。
9、全英文操作系統(tǒng)。
10、具有開蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。
11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng)，數(shù)值顯示更直觀可靠。
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