○ 產(chǎn)品介紹

TN-EVP180S-HV本儀器是一款高真空緊湊型熱蒸發(fā)鍍膜儀，蒸發(fā)溫度從200℃到1700℃，采用鎢絲籃作為蒸發(fā)源，蒸發(fā)源外套高純氧化鋁坩堝。上蓋裝有可旋轉(zhuǎn)的樣品臺，能夠有效提高成膜的均勻度。儀器擁有高精度的溫度控制系統(tǒng)，采用循環(huán)加熱方式，能夠穩(wěn)定蒸發(fā)金屬及有機物。采用不銹鋼高真空腔體設(shè)計，配高精度分子泵，能夠達到高真空要求，較高的真空度能夠有效提升蒸發(fā)鍍膜的效率及質(zhì)量。

○適用范圍

TN-EVP180S-HV適用于蒸發(fā)涂覆大多數(shù)金屬和某些有機材料薄膜。

○產(chǎn)品特點

1：不銹鋼高真空腔體設(shè)計。

2：可旋轉(zhuǎn)的樣品臺，能夠有效提高成膜的均勻度。

3：高精度的溫度控制系統(tǒng)，采用循環(huán)加熱方式，能夠穩(wěn)定蒸發(fā)。

4：高精度分子泵，能夠達到高真空要求。

○技術(shù)參數(shù)

樣品臺	直徑65mm	樣品臺距蒸發(fā)源距離	60-100m 可調(diào)節(jié)
樣品臺轉(zhuǎn)速	1-20rpm 可調(diào)節(jié)	蒸發(fā)源	鎢絲藍 *高溫1700℃
熱電偶	S型	真空腔體尺寸	φ170*200mm
腔體材料	不銹鋼	觀察窗	φ70mm
真空系統(tǒng)	產(chǎn)品型號CY-GZK103-A抽氣接口KF40 分子泵FJ-150排氣接口KF16 前極泵VRD-4真空測量復(fù)合真空計 極限真空10E-5Pa 抽氣速率分子泵：150L/S  旋片泵：4L/S   綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達： 10E-3Pa	規(guī)格	供電電壓AC220V,50Hz整機尺寸600mm× 300mm× 470mm 整機功率1.5kw整機重量40kg 極限真空度10E-5Pa

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