TN-SPC-HUA6全自動(dòng)超聲波輔助氣氛加熱勻膠機(jī)是一種小型、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進(jìn)而通過高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨(dú)進(jìn)行旋涂操作。腔體內(nèi)布有加熱元件，可在勻膠后進(jìn)行烤膠操作。產(chǎn)品帶有兩路浮子流量計(jì)控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內(nèi)，在勻膠時(shí)保護(hù)膠液不收空氣中的氣體影響。
此款勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝、制版的表面涂覆?？蓜蚰z*大圓晶尺寸為6英寸，轉(zhuǎn)速可達(dá)10000rpm，加速度可達(dá)5000rpm；具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，啟動(dòng)迅速，操作方便等優(yōu)點(diǎn)，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優(yōu)良的產(chǎn)品。

名稱	全自動(dòng)超聲波輔助氣氛加熱勻膠機(jī)
型號	SPC-HUA6
特征	采用直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制 高清晰觸摸屏控制 可進(jìn)行單步多步勻膠操作，可存儲(chǔ)五種程序，每種程序可設(shè)置五步操作 防堵膠設(shè)計(jì) 鋁合金腔體，堅(jiān)固耐用 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進(jìn)行多種輔助
勻膠機(jī)	圓晶尺寸 6英寸 旋轉(zhuǎn)速度 100~10000rpm可調(diào) 旋轉(zhuǎn)加速度 100~5000rpm/s可調(diào) 單次*長勻膠時(shí)間 3000s 勻膠腔體尺寸 Φ200mm* 90mm 電壓 220V 50Hz 功率 400W 加熱溫度 0-100℃ 質(zhì)保時(shí)間 易損件除外，1年，終身技術(shù)支持
超聲波系統(tǒng)	霧化頭材質(zhì) 鈦合金 頻率 40kHz 功率 130W 流量 0.55mL/s 微粒直徑 25um 霧化頭類型 錐型 霧化頭重量 0.3kg 超聲波電源尺寸 315*312*135mm 超聲波電源重量 5kg
注射泵	流量范圍 0.001uL/min-43.349mL/min 掉電記憶工能 保存設(shè)置參數(shù)，重新上電后，無需設(shè)置 適用進(jìn)樣器規(guī)格 10uL-1000uL 適用注射器規(guī)格 1mL-60mL 線速度范圍 5um/min-65um/min 線速度調(diào)節(jié)分辨率 5um/min *大行程 140mm 行程分辨率 0.156um 額定線性推力 ＞90N
流量計(jì)	控制氣體種類 2種 氣體流速 16-160mL/min